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平面等厚干涉仪校准规范

标准编号
JJF 1100-2016
发布单位
国家质量监督检验检疫.
状态
现行
标准类别
行业标准
发布日期
2016-11-30
实施日期
2017-05-30
摘要
本规范适用于平面等厚干涉仪的校准。