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扫描探针显微镜校准规范

标准编号
JJF 1351-2012
发布单位
国家质量监督检验检疫.
状态
现行
标准类别
行业标准
发布日期
2012-06-18
实施日期
2012-09-18
摘要
本规范适用于以几何表面形貌为测量对象的扫描探针显微镜的校准。 扫描探针显微镜根据其设计原理不同,校准时需要根据实际情况选择相关的计量特性。对有特殊要求的测量任务,如对溯源要求较高的测量,不在本校准规范的适用范围。

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