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碳化硅单晶

标准编号
T/IAWBS 001-2017
发布单位
中关村天合宽禁带半导.
状态
现行
标准类别
行业标准
发布日期
2017-12-20
实施日期
2017-12-31
摘要
本标准规定了4H及6H碳化硅单晶的必要的相关性术语、产品分类、技术要求、试验方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。 本标准适用于物理气相传输法制备的4H及6H碳化硅单晶。产品主要用于制作半导体照明、电力电子器件及微波器件的外延衬底。

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