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硅单晶

标准编号
YB 1602-1983
发布单位
冶金工业部
状态
现行
标准类别
行业标准
发布日期
1983-08-18
实施日期
1984-10-01
摘要
本标准适用于直接（CZ）法和区熔（FZ）法制备的硅单晶锭。主要供制造半导体分立元件、集成电路、电力半导体元件、探测器件和硅外延片衬底等用。

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