你好，欢迎来到试验技术专业知识服务系统

硅单晶切割片和研磨片

标准编号
YB 1603-1983
发布单位
冶金工业部
状态
现行
标准类别
行业标准
发布日期
1983-08-18
实施日期
1984-10-01
摘要
本标准适用于制造半导体器件（分立器件和集成电路）的三种等直径硅单晶切割片和双面研磨片。用作其他器件的硅单晶切割片和研磨片，可参照本标准确定其相应的技术参数。

相似标准