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硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法

标准编号
GB/T 14141-1993
中图分类号
H21
发布单位
国家标准化管理委员会
状态
废止
标准类别
国家标准
发布日期
1993-02-06
实施日期
1993-10-01

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