你好，欢迎来到试验技术专业知识服务系统

异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法

标准编号
YS/T 14-2015
中图分类号
H21
ICS分类号
77.040.
发布单位
工业和信息化部
状态
现行
标准类别
国家标准
发布日期
2015-04-30
实施日期
2015-10-01

相似标准