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集成电路用高纯钛溅射靶材

标准编号
T/ZZB 0093-2016
中图分类号
H64 稀有轻金属及其合金
ICS分类号
77.150.50 钛产品
发布单位
浙江省民政厅
状态
现行
标准类别
团体标准
发布日期
2016-09-10

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