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半导体工艺材料的检验.用光电导法测量硅单晶中复合载流子寿命.在方形试样上测量

标准编号
DIN 50440-1-1981
中图分类号
H82
ICS分类号
29_040_30
发布单位
德国标准化学会(DIN)
状态
作废
标准类别
国际标准
发布日期
1981-11-01

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