你好，欢迎来到试验技术专业知识服务系统

半导体工艺材料的检验.第2部分:用红外线吸收法测量硅中杂质含量.碳

标准编号
DIN 50438-2-1982
中图分类号
H17;H82
ICS分类号
29_045
发布单位
德国标准化学会(DIN)
状态
作废
标准类别
国际标准
发布日期
1982-08-01

相似标准