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半导体工艺材料的检验.第3部分:半导体切片几何尺寸的测量.第3部分:用多射线干涉法测定抛光切片的平面偏差

标准编号
DIN 50441-3-1985
中图分类号
H82
ICS分类号
29_045
发布单位
德国标准化学会(DE-DIN)
状态
作废
标准类别
国际标准
发布日期
1985-09-01

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