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半导体工艺材料的检验.对(111)和(100)表面采用蚀刻技术的单晶硅的晶体结构缺陷的测定

标准编号
DIN 50434-1986
中图分类号
H82
ICS分类号
29_045
发布单位
德国标准化学会(DIN)
状态
作废
标准类别
国际标准
发布日期
1986-02-01

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