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半导体装置.依赖时间的金属层间的介质击穿(TDDB)试验

标准编号
BS EN 62374-1-2010
中图分类号
ICS分类号
31_080_01
发布单位
英国标准学会(GB-BSI)
状态
现行
标准类别
国际标准
发布日期
2010-12-31
实施日期
2010-12-31

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