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通过测量间隙氧含量的减少表征硅片氧沉淀特性的方法

标准编号
SJ/T 10627-1995
中图分类号
A01
发布单位
中华人民共和国电子工业部
状态
废止
标准类别
国家标准
发布日期
1995-04-22
实施日期
1995-10-01

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