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半导体器件 微型机电器件 第2部分:薄膜材料的拉伸测试方法

标准编号
JIS C5630-2-2009
中图分类号
L40
ICS分类号
31_080_99
发布单位
日本工业标准调查会(JP-JISC)
状态
现行
标准类别
国际标准
发布日期
2009-03-20

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