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碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法

标准编号
SJ/T 11503-2015
中图分类号
H83
ICS分类号
29.045
发布单位
工业和信息化部
状态
现行
标准类别
国家标准
发布日期
2015-04-30
实施日期
2015-10-01

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