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覆层厚度测量和表面波纹表征.使用激光感应表面声波法测定薄膜的弹性常数,密度和厚度用指南

标准编号
BS EN 15042-1-2006
中图分类号
A29
ICS分类号
17_040_20
发布单位
英国标准学会(GB-BSI)
状态
现行
标准类别
国际标准
发布日期
2006-05-31
实施日期
2006-05-31