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半导体器件. 微电机设备. 第6部分: 薄膜材料的轴向疲劳试验方法(IEC 62047-6: 2009); 德文版本EN 62047-6: 2010

标准编号
DIN EN 62047-6-2010
中图分类号
ICS分类号
31_080_01;31_220_01
发布单位
德国标准化学会(DE-DIN)
状态
现行
标准类别
国际标准
发布日期
2010-07-01
实施日期
2010-07-01

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