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半导体器件.微电机设备.第3部分:拉伸试验用薄膜标准试验片

标准编号
NF C96-050-3-2006
中图分类号
L55
ICS分类号
31_080_01
发布单位
法国标准化协会(AFNOR)
状态
现行
标准类别
国际标准
发布日期
2006-11-01
实施日期
2006-11-20

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