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半导体装置.微型机电装置.第1部分:术语和定义

标准编号
NF C96-050-1-2006
中图分类号
L94
ICS分类号
01_040_31;31_080_01;31_220_01
发布单位
法国标准化协会(AFNOR)
状态
现行
标准类别
国际标准
发布日期
2006-09-01
实施日期
2006-09-20

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