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涂层厚度测量和有表面波的表面特性化.第1部分:采用激光感应表面声波法对各膜层的弹性常数、密度和厚度的测定指南

标准编号
NF A91-139-1-2006
中图分类号
A29
ICS分类号
17_040_20
发布单位
法国标准化协会(AFNOR)
状态
现行
标准类别
国际标准
发布日期
2006-06-01
实施日期
2006-06-05