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半导体工艺材料的试验.硅单晶中载流子寿命的测量.用光电导法在微小喷射时测量复合载流子寿命

标准编号
DIN 50440-1998
中图分类号
H82
ICS分类号
29_045
发布单位
德国标准化学会(DE-DIN)
状态
作废
标准类别
国际标准
发布日期
1998-11-01