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半导体工艺用材料的检验.半导体圆片几何尺寸的测量.第5部分:形状及平面偏差的术语

标准编号
DIN 50441-5-1998
中图分类号
H82
ICS分类号
29_045;01_040_29
发布单位
德国标准化学会(DIN)
状态
作废
标准类别
国际标准
发布日期
1998-05-01

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