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半导体装置.依赖时间的栅极介电薄膜的介质击穿(TDDB)试验

标准编号
BS EN 62374-2008
中图分类号
ICS分类号
31_080_01
发布单位
英国标准学会(GB-BSI)
状态
现行
标准类别
国际标准
发布日期
2008-10-31
实施日期
2008-10-31

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