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金属和其他无机物涂层.涂层厚度测量.菲索(Fizeau)多光束干涉仪法

标准编号
BS EN ISO 3868-1995
中图分类号
A29
ICS分类号
17_040_20
发布单位
英国标准学会(BSI)
状态
现行
标准类别
国际标准
发布日期
1995-05-15
实施日期
1995-05-15

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