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光学和光子学.光学元件和光学系统的干涉仪测量.第3部分:干涉仪试验设备和测量的校准和验证

标准编号
ISO/TR 14999-3-2005
中图分类号
N30
ICS分类号
37_020
发布单位
国际标准化组织(ISO)
状态
现行
标准类别
国际标准
发布日期
2005-03-01