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超净间和有关受控环境.第2部分:验证持续符合ISO 14644-1要求的测试和监测规范

标准编号
NF X44-102-2000
中图分类号
Z15
ICS分类号
13_040_35
发布单位
法国标准化协会(AFNOR)
状态
现行
标准类别
国际标准
发布日期
2000-11-01
实施日期
2000-11-20