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掺硼掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程

标准编号
GB/T 13389-1992
中图分类号
H21
发布单位
国家标准化管理委员会
状态
作废
标准类别
国家标准
发布日期
1992-02-19
实施日期
1992-10-01