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掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程

标准编号
GB/T 13389-2014
中图分类号
H80
ICS分类号
29.045
发布单位
国家标准化管理委员会
状态
现行
标准类别
国家标准
发布日期
2014-12-31
实施日期
2015-09-01

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