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硅外延层载流子浓度的测试 电容-电压法

标准编号
GB/T 14146-2021
中图分类号
H21
ICS分类号
77.040
发布单位
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
状态
现行有效
标准类别
国家标准
发布日期
2021-05-21
实施日期
2021-12-01
摘要
本文件规定了电容电压法测试硅外延层载流子浓度的方法，包括汞探针电容电压法和无接触电容电压法。
应用范围
本文件适用于同质硅外延层载流子浓度的测试，测试范围为4×1013cm-3～8×1016cm-3，其中硅外延层的厚度大于测试偏压下耗尽层深度的两倍。硅单晶抛光片和同质碳化硅外延片载流子浓度的测试也可以参照本文件进行，其中无接触电容电压法不适用于同质碳化硅外延片载流子浓度的测试。
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