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硅单晶电阻率的测定 直排四探针法和直流两探针法

标准编号
GB/T 1551-2021
中图分类号
H21
ICS分类号
77.040
发布单位
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
状态
现行有效
标准类别
国家标准
发布日期
2021-05-21
实施日期
2021-12-01
摘要
本文件规定了用直排四探针法和直流两探针法测试硅单晶电阻率的方法。
应用范围
本文件适用于硅单晶电阻率的测试，其中直排四探针法可测试的p型硅单晶电阻率范围为7×10-4Ω·cm～8×103Ω·cm，n型硅单晶电阻率范围为7×10-4Ω·cm～1.5×104Ω·cm；直流两探针法适用于测试截面积均匀的圆形、方形或矩形硅单晶的电阻率，测试范围为1×10-3Ω·cm～1×104Ω·cm，样品长度与截面最大尺寸之比不小于3:1。硅单晶其他范围电阻率的测试可参照本文件进行。
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