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纳米技术 原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法

标准编号
GB/T 36969-2018
中图分类号
J04
ICS分类号
17.040.20
发布单位
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
状态
现行有效
标准类别
国家标准
发布日期
2018-12-28
实施日期
2018-12-28
摘要
本标准规定了使用原子力显微术（AFM)测量纳米薄膜厚度的原理、测试条件、设备、样品、测试步骤和数据处理。
应用范围
本标准适用于表面均匀、平整的纳米范围厚度的无机材料薄膜。较厚的和一些有机薄膜的膜厚测定也可参照执行。
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