电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
- 标准编号
- GB/T 37049-2018
- 中图分类号
- H17
- ICS分类号
- 77.040.30
- 发布单位
- 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
- 状态
- 现行有效
- 标准类别
- 国家标准
- 发布日期
- 2018-12-28
- 实施日期
- 2019-04-01
- 摘要
- 本标准规定了电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS)测定电子级多晶硅中痕量基体金属杂质含量的方法。
- 应用范围
- 本标准适用于GB/T 12963中在基体金属杂质小于5 ng/g范围内铁、铬、镍、铜、锌、钠含量的测定。
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