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太阳能级多晶硅锭、硅片晶体缺陷密度测定方法

标准编号
GB/T 37051-2018
中图分类号
H80
ICS分类号
29.045
发布单位
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
状态
现行有效
标准类别
国家标准
发布日期
2018-12-28
实施日期
2019-04-01
摘要
本标准规定了太阳能级多晶硅锭、硅片的晶体缺陷密度测定方法，包含方法概要、试剂和材料、仪器和设备、试样制备、测试步骤、数据处理、精密度、干扰因素和报告。
应用范围
本标准适用于太阳能级多晶硅锭、硅片晶体缺陷密度的测定。
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