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硅晶锭尺寸的测定 激光法

标准编号
GB/T 37213-2018
中图分类号
H21
ICS分类号
77.040
发布单位
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
状态
现行有效
标准类别
国家标准
发布日期
2018-12-28
实施日期
2019-11-01
摘要
本标准规定了采用激光法非接触式测量方形硅晶锭尺寸的方法，包括对角线、倒角、垂直度、边长和长度。
应用范围
本标准适用于半导体及光伏领域硅单晶棒或多晶硅铸锭切割成的方形硅晶锭尺寸的测量。
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