高纯碳化硅 微量元素的测定
- 标准编号
- GB/T 37254-2018
- 中图分类号
- A43
- ICS分类号
- 71.040.50
- 发布单位
- 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
- 状态
- 现行有效
- 标准类别
- 国家标准
- 发布日期
- 2018-12-28
- 实施日期
- 2019-09-01
- 摘要
- 本标准规定了采用电感耦合等离子体原子发射光谱（ICP-OES)法和电感耦合等离子体质谱（ICP-MS)法测定高纯碳化硅中微量元素含量的方法。
- 应用范围
- 本标准适用于碳化硅质量分数含量大于或等于99.9%的高纯碳化硅材料中铝、砷、钙、铬、铜、铁、汞、钾、镁、锰、钠、镍、铅、硫、钛、锌等16种元素的测定。各元素的测定范围见表1（以质量分数计)。
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