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微机电系统(MEMS)技术 MEMS器件的可靠性综合环境试验方法

标准编号
GB/T 38341-2019
中图分类号
L55
ICS分类号
31.200
发布单位
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
状态
现行有效
标准类别
国家标准
发布日期
2019-12-31
实施日期
2020-04-01
摘要
本标准规定了MEMS器件可靠性综合环境的试验方法和失效结果处理。
应用范围
本标准适用于需要进行可靠性试验的MEMS器件。
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