氧化铟锡靶材化学分析方法
- 标准编号
- GB/T 38389-2019
- 中图分类号
- H13
- ICS分类号
- 77.120.60
- 发布单位
- 国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
- 状态
- 现行有效
- 标准类别
- 国家标准
- 发布日期
- 2019-12-31
- 实施日期
- 2020-11-01
- 摘要
- 本标准规定了氧化铟锡靶材中铟、锡、铁、铝、硅、铜、铅、镉、镍、铬和铊含量的测定方法。
- 应用范围
- 本标准适用于氧化铟锡靶材中铟、锡、铁、铝、硅、铜、铅、镉、镍、铬和铊含量的测定。各分析项目、方法、测定范围见表1。
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