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微机电系统（MEMS）技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法

标准编号
GB/T 38446-2020
中图分类号
L55
ICS分类号
31.200
发布单位
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
状态
现行有效
标准类别
国家标准
发布日期
2020-03-06
实施日期
2020-10-01
摘要
本标准规定了带状薄膜抗拉性能的试验方法及数据处理。
应用范围
本标准适用于厚度在50 nm到数微米之间且长度和厚度的比值大于300的样品，也可用于MEMS产品带状薄膜结构的质量监控。
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