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微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法

标准编号
GB/T 38447-2020
中图分类号
L55
ICS分类号
31.200
发布单位
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
状态
现行有效
标准类别
国家标准
发布日期
2020-03-06
实施日期
2020-07-01
摘要
本标准规定了MEMS结构共振疲劳试验的试验方法，包括设备、试验环境、样品要求、试验条件和试验步骤。
应用范围
本标准适用于MEMS结构的共振疲劳试验。
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