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柔性薄膜基体上涂层厚度的测量方法

标准编号
GB/T 38518-2020
中图分类号
A29
ICS分类号
25.220.01
发布单位
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
状态
现行有效
标准类别
国家标准
发布日期
2020-03-06
实施日期
2021-02-01
摘要
本标准规定了柔性薄膜基体上涂层(包含有机、无机与金属涂层)厚度扫描电子显微镜测量的基本方法及原理、标准样品和仪器设备、操作方法、数据处理的方法
应用范围
本标准适用于厚度不大于3 mm的柔性薄膜基体上厚度为10 nm~0.5 mm的涂层的厚度测量。
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