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基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法

标准编号
GB/T 38614-2020
中图分类号
N10
ICS分类号
01.040.39
发布单位
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
状态
现行有效
标准类别
国家标准
发布日期
2020-04-28
实施日期
2020-11-01
摘要
本标准规定了基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台（以下简称为平台）的测量条件、测量系统和测量方法。
应用范围
本标准适用于平台的研究、设计、生产、检测及使用。
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