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硅材料中氧含量的测试 惰性气体熔融红外法

标准编号
GB/T 38976-2020
中图分类号
H17
ICS分类号
77.040
发布单位
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
状态
现行有效
标准类别
国家标准
发布日期
2020-07-21
实施日期
2021-06-01
摘要
本标准规定了采用惰性气体熔融及红外技术测试硅材料中氧含量的方法
应用范围
本标准适用于不同导电类型、不同电阻率范围的硅单晶、多晶硅中氧含量的测试，测试范围为2.5×1015 cm-3（0.05 ppma)～2.5×1018 cm-3（50 ppma) 注： 硅材料中的氧含量以每立方厘米中的原子数计。
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