硅片表面金属元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
- 标准编号
- GB/T 39145-2020
- 中图分类号
- H17
- ICS分类号
- 77.040
- 发布单位
- 国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
- 状态
- 现行有效
- 标准类别
- 国家标准
- 发布日期
- 2020-10-11
- 实施日期
- 2021-09-01
- 摘要
- 本标准规定了电感耦合等离子体质谱法测定硅片表面金属元素含量的方法。
- 应用范围
- 本标准适用于硅单晶抛光片和硅外延片表面痕量金属钠、镁、铝、钾、钙、铬、锰、铁、钴、镍、铜、锌元素含量的测定，测定范围为108 cm-2～1013 cm-2。本标准同时也适用于硅退火片、硅扩散片等无图形硅片表面痕量金属元素含量的测定。 注:硅片表面的金属元素含量以每平方厘米的原子数计。
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