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靶材与背板结合强度测试方法

标准编号
GB/T 39163-2020
中图分类号
H22
ICS分类号
19.060
发布单位
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
状态
现行有效
标准类别
国家标准
发布日期
2020-11-19
实施日期
2021-10-01
摘要
本标准规定了靶材与背板结合强度测试方法。
应用范围
本标准适用于微电子领域镀膜用靶材与背板结合强度测试方法。 注： 靶材与背板结合方式包括钎焊（传统焊料、导电银胶、纳米箔焊接等）、扩散焊、电子束或激光焊、爆炸焊、摩擦焊、机械复合、冷喷涂、热喷涂等。
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