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硅片表面薄膜厚度的测试 光学反射法

标准编号
GB/T 40279-2021
中图分类号
H21
ICS分类号
77.040
发布单位
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
状态
现行有效
标准类别
国家标准
发布日期
2021-08-20
实施日期
2022-03-01
摘要
本文件规定了采用光学反射法测试硅片表面二氧化硅薄膜、多晶硅薄膜厚度的方法。
应用范围
本文件适用于测试硅片表面生长的二氧化硅薄膜和多晶硅薄膜的厚度，也适用于所有光滑的、透明或半透明的、低吸收系数的薄膜厚度的测试，如非晶硅、氮化硅、类金刚石镀膜、光刻胶等表面薄膜。
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