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硅多晶气氛区熔基磷检验方法

标准编号
GB/T 4059-2018
中图分类号
H17
ICS分类号
77.040
发布单位
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
状态
现行有效
标准类别
国家标准
发布日期
2018-12-28
实施日期
2019-11-01
摘要
本标准规定了多晶硅中基磷含量的检验方法。
应用范围
本标准适用于在硅芯上沉积生长的多晶硅棒中基磷含量（原子数)的测定，测定范围为0.01×10 13 cm-3～500×10 13m-3。
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