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锗单晶位错密度的测试方法

标准编号
GB/T 5252-2020
中图分类号
H21
ICS分类号
77.040
发布单位
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
状态
现行有效
标准类别
国家标准
发布日期
2020-06-02
实施日期
2021-05-01
摘要
本标准规定了锗单晶位错密度的测试方法。
应用范围
本标准适用于{111}、{100}和{113}面锗单晶位错密度的测试，测试范围为0 cm-2~100 000 cm-2。
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