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二维材料厚度测量 原子力显微镜法

标准编号
T/CSTM 00003-2019
中图分类号
A 40
ICS分类号
07.030
发布单位
中国计量科学研究院、北京市理化分析测试中心、广州特种承压设备检测研究院、布鲁克（北京）科技有限公司、江南石墨烯研究院等
状态
现行有效
标准类别
团体标准
发布日期
2019-01-03
实施日期
2019-02-01
摘要
本标准规定了二维材料厚度测量 原子力显微镜法的原理、仪器设备、样品前处理、测试方法、厚度计算方法、测量结果的不确定度评定及测试报告。 发布单位：中国计量科学研究院、北京市理化分析测试中心、广州特种承压设备检测研究院、布鲁克（北京）科技有限公司、江南石墨烯研究院、纳米技术及应用国家工程研究中心、上海交通大学分析测试中心、中国计量大学
应用范围
本标准适用于可以与基底形成台阶的二维材料厚度测量。

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