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半导体设施接口技术文件编写导则

标准编号
GB/T 15873-1995
中图分类号
L97
ICS分类号
31.220.10
发布单位
工业和信息化部(电子)
状态
现行
标准类别
国家标准
发布日期
1995-01-02
实施日期
1996-08-01